反渗透超纯水装置是水中电解质几乎全部去除，水中不溶解的胶体物质、微生物、微粒、有机物、溶解气体降至很低程度，电阻值在10兆欧姆以上的水。传统制备超纯水的工艺是采用多级蒸馏法或离子交换法来制取，近年来，随着膜分离技术的快速发展。超滤，微滤，反渗透过滤等工艺在水处理领域得到广泛应用。目前制取超纯水的工艺有反渗透，离子交换及EDI（电去离子）。超纯水被广泛应用于电子、电力，化工，电镀，锅炉及医药等行业。

　反渗透超纯水装置：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。

　　反渗透超纯水装置水,是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm
中国国家实验室分析用水标准（GB6682-92）

　　指标名称 一级水 二级水 三级水

　　PH值范围（25℃） - - - - 5.0-7.5

　　比电阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2

　　电导率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5

　　可氧化物[以O计]mg/L -- 0.08 0.40

　　吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 --

　　二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 --

　　蒸发残渣（mg/L） -- 1.0 2.0